Spånutbytet i spåntillverkningsindustrin är nära relaterat till storleken och antalet luftpartiklar som deponeras på spånet.Bra luftflödesorganisation kan ta bort partiklar som genereras från dammkällor från renrummet och säkerställa renrummets renhet.Det vill säga, luftflödesorganisationen i renrum spelar en avgörande roll för utbytet av flisproduktion.De mål som ska uppnås vid utformningen av rena rumsluftflödesorganisation är: att minska eller eliminera virvelströmmar i flödesfältet för att undvika kvarhållande av skadliga partiklar;för att upprätthålla en lämplig övertrycksgradient för att förhindra korskontaminering.
Enligt renrumsprincipen inkluderar de krafter som verkar på partiklar masskraft, molekylär kraft, attraktion mellan partiklar, luftflödeskraft, etc.
Luftflödeskraft: hänvisar till luftflödeskraften som orsakas av till- och returluftflöde, termisk konvektionsluftflöde, artificiell omrörning och andra luftflöden med en viss flödeshastighet för att transportera partiklar.För styrning av miljöteknik i renrum är luftflödeskraften den viktigaste faktorn.
Experiment har visat att i luftflödesrörelse följer partiklar luftflödet med nästan exakt samma hastighet.Tillståndet för partiklar i luften bestäms av luftflödesfördelningen.De huvudsakliga effekterna av luftflöde på inomhuspartiklar inkluderar: lufttillförselluftflöde (inklusive primärluftflöde och sekundärluftflöde), luftflöde och termisk konvektionsluftflöde orsakat av människor som går och luftflödets påverkan på partiklar orsakade av processoperationer och industriell utrustning.Olika lufttillförselmetoder, hastighetsgränssnitt, operatörer och industriell utrustning, inducerade fenomen etc i renrum är alla faktorer som påverkar renhetsnivån.
1. Påverkan av lufttillförselmetoden
(1) Lufttillförselhastighet
För att säkerställa ett jämnt luftflöde måste lufttillförselhastigheten i renrummet med enkelriktat flöde vara enhetlig;den döda zonen på lufttillförselytan måste vara liten;och tryckfallet i hepa-filtret måste också vara enhetligt.
Lufttillförselhastigheten är enhetlig: det vill säga att ojämnheten i luftflödet kontrolleras inom ±20 %.
Det finns mindre dödutrymme på lufttillförselytan: inte bara den plana arean av hepa-ramen ska minskas, utan ännu viktigare, modulär FFU bör användas för att förenkla den redundanta ramen.
För att säkerställa att luftflödet är vertikalt och enkelriktat är valet av tryckfall för filtret också mycket viktigt, och det krävs att tryckförlusten i filtret inte kan påverkas.
(2) Jämförelse mellan FFU-system och axialfläktsystem
FFU är ett lufttillförselaggregat med fläkt och hepa-filter.Luften sugs in av FFU:s centrifugalfläkt och omvandlar det dynamiska trycket till statiskt tryck i luftkanalen.Det blåser ut jämnt av hepa-filter.Lufttrycket i taket är undertryck.På så sätt kommer inget damm att läcka in i rena rum när filtret byts ut.Experiment har visat att FFU-systemet är överlägset axialfläktsystemet när det gäller luftutloppslikformighet, luftflödesparallellism och ventilationseffektivitetsindex.Detta beror på att luftflödesparallellen hos FFU-systemet är bättre.Användningen av FFU-systemet kan förbättra luftflödesorganisationen i renrum.
(3) Påverkan av FFU:s egen struktur
FFU består huvudsakligen av fläktar, filter, luftflödesledare och andra komponenter.Hepa-filtret är den viktigaste garantin för ett rent rum för att uppnå den renhet som krävs av designen.Filtrets material kommer också att påverka flödesfältets enhetlighet.När ett grovt filtermaterial eller en flödesplatta läggs till filterutloppet kan utloppsflödesfältet enkelt göras enhetligt.
2. Effekten av hastighetsgränssnitt med olika renlighet
I samma rena rum, mellan arbetsområdet och icke-arbetsområdet med vertikalt enkelriktat flöde, på grund av skillnaden i lufthastighet vid hepa-boxen, kommer en blandad virveleffekt att uppstå vid gränssnittet, och detta gränssnitt kommer att bli en turbulent luftflödeszon.Intensiteten av luftturbulens är särskilt stark, och partiklar kan överföras till ytan av utrustningsmaskinen och förorena utrustningen och wafers.
3. Påverkan på personal och utrustning
När ett rent rum är tomt uppfyller luftflödesegenskaperna i rummet i allmänhet designkraven.När väl utrustning kommer in i renrum, människor rör sig och produkter transporteras, finns det oundvikligen hinder för luftflödesorganisationen, såsom vassa spetsar som sticker ut från utrustningsmaskinen.Vid hörnen eller kanterna kommer gasen att avleda för att bilda ett turbulent flödesområde, och vätskan i området kommer inte lätt att transporteras bort av den inkommande gasen, vilket orsakar föroreningar.
Samtidigt kommer ytan på den mekaniska utrustningen att värmas upp på grund av kontinuerlig drift, och temperaturgradienten kommer att orsaka ett återflödesområde nära maskinen, vilket ökar ackumuleringen av partiklar i återflödesområdet.Samtidigt kommer den höga temperaturen lätt att få partiklarna att fly.Den dubbla effekten förstärker det övergripande vertikala lagret.Svårigheten att kontrollera bäckens renhet.Damm från operatörer i renrum kan lätt fästa vid wafers i dessa återflödesområden.
4. Påverkan av returluftsgolv
När motståndet hos returluften som passerar genom golvet är annorlunda uppstår tryckskillnaden, vilket gör att luft strömmar i riktning mot litet motstånd, och enhetligt luftflöde erhålls inte.Den nuvarande populära designmetoden är att använda ett förhöjt golv.När öppningsförhållandet för det förhöjda golvet är 10 % kan luftflödeshastigheten fördelas jämnt på inomhusarbetshöjden.Dessutom bör strikt uppmärksamhet ägnas åt rengöringsarbeten för att minska källan till föroreningar på golvet.
5. Induktionsfenomen
Det så kallade induktionsfenomenet hänvisar till fenomenet att generera luftflöde i motsatt riktning till det likformiga flödet, vilket inducerar damm som genereras i rummet eller damm i angränsande förorenade områden till motvindssidan, vilket får dammet att kontaminera skivan.Möjliga inducerade fenomen inkluderar följande:
(1) Blindplatta
I ett renrum med vertikalt envägsflöde, på grund av fogarna på väggen, finns det i allmänhet stora blindpaneler som ger turbulent flöde och lokalt återflöde.
(2) Lampor
Belysningsarmaturer i renrum kommer att ha större inverkan.Eftersom värmen från lysröret får luftflödet att stiga, kommer lysröret inte att bli ett turbulent område.I allmänhet är lamporna i renrum utformade i droppform för att minska lampornas påverkan på luftflödesorganisationen.
(3) Mellanrum mellan väggar
När det finns luckor mellan mellanväggar eller tak med olika renhetskrav kan damm från områden med låga renhetskrav överföras till intilliggande områden med höga renhetskrav.
(4) Avståndet mellan den mekaniska utrustningen och golvet eller väggen
Om gapet mellan den mekaniska utrustningen och golvet eller väggen är litet, kommer returturbulens att uppstå.Lämna därför ett mellanrum mellan utrustningen och väggen och höj maskinplattformen för att undvika direktkontakt med marken.
Posttid: 2023-november