Chiputbytet inom chiptillverkningsindustrin är nära besläktad med storleken och antalet luftpartiklar avsatta på chip. God luftflödesorganisation kan ta partiklar genererade från dammkällor bort från rent rum och säkerställa renligheten i renrummet. Det vill säga luftflödesorganisationen i renrum spelar en viktig roll i utbytet av chipproduktion. Målen som ska uppnås i utformningen av organisationen Clean Room Air Flow är: att minska eller eliminera virvelströmmar i flödesfält för att undvika kvarhållning av skadliga partiklar; för att upprätthålla en lämplig positiv tryckgradient för att förhindra korskontaminering.
Enligt Clean Room -principen inkluderar krafterna som verkar på partiklar masskraft, molekylkraft, attraktion mellan partiklar, luftflödeskraft etc.
Luftflödeskraft: hänvisar till luftflödets kraft orsakad av tillförsel och returflöde, termisk konvektion luftflöde, konstgjord agitation och andra luftflöden med en viss flödeshastighet för att bära partiklar. För kontroll av miljöteknologikontroller är luftflödesstyrkan den viktigaste faktorn.
Experiment har visat att i luftflödesrörelsen följer partiklarna luftflödet med nästan exakt samma hastighet. Tillståndet för partiklar i luft bestäms av luftflödesfördelningen. Huvudeffekterna av luftflödet på inomhuspartiklar inkluderar: lufttillförsel luftflöde (inklusive primärt luftflöde och sekundärt luftflöde), luftflöde och termisk konvektion luftflöde orsakat av människor som går och påverkan av luftflödet på partiklar orsakade av processverksamhet och industriell utrustning. Olika lufttillförselmetoder, hastighetsgränssnitt, operatörer och industriutrustning, inducerade fenomen osv. I renrum är alla faktorer som påverkar renlighetsnivån.
1. Påverkan av lufttillförselmetod
(1) Luftförsörjningshastighet
För att säkerställa enhetligt luftflöde måste lufttillförselhastigheten i det enkelriktade flödesrummet vara enhetligt; Den döda zonen på lufttillförselytan måste vara liten; och tryckfallet i HEPA -filter måste också vara enhetligt.
Luftförsörjningshastigheten är enhetlig: det vill säga ojämnheten i luftflödet styrs inom ± 20%.
Det finns mindre dött utrymme på lufttillförselytan: inte bara bör planområdet för HEPA -ramen minskas, utan ännu viktigare, modulär FFU bör användas för att förenkla den redundanta ramen.
För att säkerställa att luftflödet är vertikalt och enkelriktat är filtrets tryckfall också mycket viktigt, och det krävs att tryckförlusten i filtret inte kan vara partisk.
(2) Jämförelse mellan FFU -system och axiellt flödesfläktsystem
FFU är en luftförsörjningsenhet med ett fläkt- och HEPA -filter. Luften sugs in av centrifugalfläkten av FFU och omvandlar det dynamiska trycket till statisk tryck i luftkanalen. Det blåses ut jämnt av HEPA -filter. Lufttillförseltrycket på taket är negativt tryck. På detta sätt kommer inget damm att läcka in i rent rum när du byter ut filtret. Experiment har visat att FFU -systemet är överlägset det axiella flödesfläktsystemet när det gäller luftuttagens enhetlighet, luftflödesparallellitet och ventilationseffektivitetsindex. Detta beror på att luftflödesparallellen för FFU -systemet är bättre. Användningen av FFU -systemet kan förbättra luftflödesorganisationen i Clean Room.
(3) Påverkan av FFU: s egen struktur
FFU består huvudsakligen av fläktar, filter, luftflödesguider och andra komponenter. HEPA -filtret är den viktigaste garantin för rent rum för att uppnå den renhet som krävs av design. Materialet i filtret kommer också att påverka flödesfältets enhetlighet. När ett grovt filtermaterial eller en flödesplatta läggs till filterutloppet kan utloppsflödesfältet enkelt göras enhetligt.
2. Påverkan av hastighetsgränssnitt med olika renlighet
I samma rena rum, mellan arbetsområdet och det icke-arbetande området med vertikalt enkelriktat flöde, på grund av skillnaden i lufthastighet vid HEPA-rutan, kommer en blandad virveleffekt att ske vid gränssnittet, och detta gränssnitt kommer att bli en turbulent Luftflödeszon. Luftturbulensens intensitet är särskilt stark, och partiklar kan överföras till ytan på utrustningsmaskinen och förorena utrustningen och skivorna.
3. Påverkan på personal och utrustning
När rent rum är tomt uppfyller luftflödesegenskaperna i rummet i allmänhet designkraven. När utrustningen kommer in i renrum, människor flyttar och produkter transporteras finns det oundvikligen hinder för luftflödesorganisationen, till exempel skarpa punkter som sticker ut från utrustningsmaskinen. I hörnen eller kanterna kommer gasen att avleda för att bilda ett turbulent flödesområde, och vätskan i området kommer inte lätt att föras bort av den inkommande gasen och därmed orsaka föroreningar.
Samtidigt kommer ytan på den mekaniska utrustningen att värmas på grund av kontinuerlig drift, och temperaturgradienten kommer att orsaka ett återflödesområde nära maskinen, vilket ökar ackumuleringen av partiklar i återflödesområdet. Samtidigt kommer den höga temperaturen lätt att få partiklarna att fly. Den dubbla effekten intensifierar det totala vertikala skiktet. Svårigheten att kontrollera strömmen renlighet. Damm från operatörer i rent rum kan enkelt hålla sig till skivor i dessa återflödesområden.
4. Påverkan av återvändande luftgolv
När motståndet i återvändande luft som passerar genom golvet är annorlunda kommer tryckskillnaden att inträffa, vilket får luften att flyta i riktning mot litet motstånd, och enhetligt luftflöde kommer inte att erhållas. Den nuvarande populära designmetoden är att använda ett förhöjt golv. När öppningsförhållandet för det förhöjda golvet är vid 10%kan luftflödeshastigheten fördelas jämnt vid inomhusarbetshöjden. Dessutom bör strikt uppmärksamhet ägnas åt att rengöra arbetet för att minska källan till föroreningar på golvet.
5. Induktionsfenomen
Det så kallade induktionsfenomenet hänvisar till fenomenet att generera luftflöde i motsatt riktning till det enhetliga flödet, vilket inducerar damm som genereras i rum eller damm i angränsande förorenade områden till den motvindade sidan och därigenom orsakar dammet förorenat skivan. Möjliga inducerade fenomen inkluderar följande:
(1) Blindplatta
I ett rent rum med vertikalt enkelriktat flöde, på grund av lederna på väggen, finns det i allmänhet stora blinda paneler som kommer att producera turbulent flöde och lokalt bakflöde.
(2) lampor
Belysningsarmaturer i rent rum kommer att ha en större inverkan. Eftersom värmen i den fluorescerande lampan får luftflödet att stiga kommer den lysrörslampan inte att bli ett turbulent område. I allmänhet är lamporna i rent rum utformade i en tårform för att minska lamporna på luftflödesorganisationen.
(3) luckor mellan väggarna
När det finns luckor mellan partitionsväggar eller tak med olika renhetskrav kan damm från områden med låga renhetskrav överföras till angränsande områden med hög renhetskrav.
(4) Avståndet mellan den mekaniska utrustningen och golvet eller väggen
Om klyftan mellan den mekaniska utrustningen och golvet eller väggen är liten kommer rebound -turbulens att inträffa. Lämna därför ett gap mellan utrustningen och väggen och höja maskinplattformen för att undvika direktkontakt med marken.
Post Time: Nov-02-2023