IS0 14644-5 kräver att installation av fast utrustning i renrum ska baseras på renrums design och funktion.Följande detaljer kommer att presenteras nedan.
1. Utrustningsinstallationsmetod: Den idealiska metoden är att stänga renrum under installationsperioden för utrustningen och ha en dörr som kan möta utrustningens betraktningsvinkel eller reservera en kanal på tavlan för att tillåta ny utrustning att passera igenom och komma in ren utrymme för att förhindra att renrum nära installationstiden förorenas, bör skyddsåtgärder vidtas för att säkerställa att renrummet fortfarande uppfyller sina renhetskrav och det efterföljande arbete som krävs.
2. Om arbetet i renrum inte kan stoppas under varje installationsperiod, eller om det finns strukturer som behöver demonteras, måste det löpande renrummet vara effektivt isolerat från arbetsområdet: tillfälliga isoleringsväggar eller mellanväggar kan användas.För att inte hindra installationsarbetet bör det finnas tillräckligt med utrymme runt utrustningen.Om förhållandena tillåter kan tillträde till isoleringsområdet ske via servicekanaler eller andra icke-kritiska områden: om detta inte är möjligt bör åtgärder vidtas för att minimera föroreningspåverkan från installationsarbetet.Isoleringsområdet bör bibehålla lika tryck eller undertryck.Tillförseln av ren luft bör stängas av i höghusområdet för att undvika övertryck på de omgivande renrummen.Om åtkomst till isoleringsområdet endast sker genom ett angränsande renrum, bör klibbiga kuddar användas för att ta bort smuts från skorna.
3. Efter att ha kommit in på höghöjdsområdet kan engångsstövlar eller överdragsskor och arbetskläder i ett stycke användas för att undvika att de rena kläderna förorenas.Dessa engångsartiklar bör tas bort innan de lämnar karantänområdet.Metoder för att övervaka området runt isoleringsområdet under installationsprocessen av utrustningen bör utvecklas och övervakningsfrekvensen bör bestämmas för att säkerställa att eventuell förorening som kan läcka in i det intilliggande renrummet upptäcks.Efter att isoleringsåtgärderna har satts upp kan olika nödvändiga public service-anläggningar, såsom el, vatten, gas, vakuum, tryckluft och avloppsvattenledningar, sättas upp.Uppmärksamhet bör ägnas åt att kontrollera och isolera rök och skräp som genereras av operationen så mycket som möjligt för att undvika oavsiktlig spridning till det omgivande renrummet.Det ska också underlätta effektiv rengöring innan isoleringsbarriären tas bort.Efter att allmännyttiga anläggningar uppfyller användningskraven bör hela isoleringsområdet rengöras och dekontamineras enligt föreskrivna rengöringsrutiner.Alla ytor, inklusive alla väggar, utrustning (fast och rörlig) och golv, bör dammsugas, torkas och moppas, med särskild uppmärksamhet på rengöring av områden bakom utrustningsskydd och under utrustning.
4. Ett preliminärt test av utrustningens prestanda kan utföras baserat på de faktiska förhållandena i renrummet och den installerade utrustningen, men efterföljande acceptanstest bör utföras när de rena miljövillkoren är helt uppfyllda.Beroende på förhållandena på installationsplatsen kan du börja försiktigt demontera isoleringsväggen;om tillförseln av ren luft har stängts av, starta om den;tiden för detta skede av arbetet bör väljas noggrant för att minimera störningar av det normala arbetet i renrummet.Vid denna tidpunkt kan det vara nödvändigt att mäta om koncentrationen av luftburna partiklar uppfyller de angivna kraven.
5. Rengöring och förberedelse av insidan av utrustningen och viktiga processkammare bör utföras under normala renrumsförhållanden.Alla inre kammare och alla ytor som kommer i kontakt med produkten eller är inblandade i produkttransport måste torkas av till erforderlig renhetsnivå.Rengöringssekvensen för utrustningen bör vara uppifrån och ned.Om partiklar sprids kommer större partiklar att falla till botten av utrustningen eller marken på grund av gravitationen.Rengör utrustningens yttre yta uppifrån och ned.Vid behov bör ytpartikeldetektering utföras i områden där produkt- eller produktionsprocesskraven är kritiska.
6. Med tanke på egenskaperna hos renrum, särskilt den stora ytan, höga investeringar, hög produktion och mycket strikta renlighetskrav för högteknologiska renrum, är installationen av produktionsprocessutrustning i denna typ av rena fabriker mer lik den av vanliga renrum.För detta ändamål gjorde den nationella standarden "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance" som släpptes 2015 vissa bestämmelser för installation av produktionsprocessutrustning i rena fabriker, huvudsakligen inklusive följande.
①.För att förhindra kontaminering eller till och med skada på renrummet som har genomgått "tom" acceptans under installationsprocessen av produktionsprocessutrustning, får installationsprocessen av utrustningen inte ha överdriven vibration eller lutning, och får inte delas och förorena utrustningen ytor.
②.För att göra installationen av produktionsprocessutrustning i renrummet ordnad och utan eller med mindre sittande, och för att följa det rena produktionsledningssystemet i ren verkstad, se till att installationsprocessen av produktionsutrustningen är skyddad enligt de olika " färdiga produkter" och "halvfabrikat" accepterade i "tomt tillstånd", material, maskiner etc. som måste användas i installationsprocessen får inte avge eller kan producera (inklusive vid normal drift av renrummet under en längre tid tid) föroreningar som är skadliga för de producerade produkterna.Rena material som är dammfria, rostfria, fettfria och som inte producerar damm vid användning bör användas.
③.Byggnadsdekorationsytan i rena rummet bör skyddas med rena, dammfria plattor, filmer och andra material;utrustningens stödplatta bör tillverkas i enlighet med konstruktionen eller kraven på utrustningens tekniska dokument.Om det inte finns några krav bör rostfria stålplåtar eller plastplåtar användas.Kolstålprofiler som används för oberoende fundament och golvförstärkningar bör behandlas med korrosionsskydd, och ytan ska vara plan och slät;elastiska tätningsmaterial som används för tätning.
④.Material bör märkas med ingredienser, sorter, tillverkningsdatum, lagringsperiod, instruktioner för konstruktionsmetod och produktkvalifikationscertifikat.Maskiner och verktyg som används i renrum får inte flyttas till icke-rena rum för användning.Maskiner och verktyg får inte flyttas till renrummet för användning.Maskiner och verktyg som används i det rena området bör säkerställa att de exponerade delarna av maskinen inte producerar damm eller vidta åtgärder för att förhindra att damm förorenar miljön.Vanligt använda maskiner och verktyg bör rengöras i luftslussen innan de flyttas till det rena området., bör uppfylla kraven för att vara oljefri, smutsfri, dammfri och rostfri, och bör flyttas efter att ha passerat inspektionen och anbringat en "Rengör" eller "Endast ren område".
⑤.Produktionsprocessutrustningen i renrummet måste installeras på "specifika golv" såsom förhöjda golv.Utrustningsfundamentet bör i allmänhet placeras på det nedre tekniska mezzaningolvet eller på den cementporösa plattan;de aktiviteter som behöver demonteras för att installera fundamentet. Golvets struktur efter kapning med en handhållen elektrisk såg bör förstärkas, och dess bärförmåga bör inte vara lägre än den ursprungliga bärförmågan.När en oberoende grund av en stålramskonstruktion används, bör den vara gjord av galvaniserat material eller rostfritt stål, och den exponerade ytan ska vara plan och slät.
⑥.När installationsprocessen av produktionsprocessutrustning i renrum kräver öppningshål i väggpaneler, undertak och upphöjda golv, får borrningsoperationerna inte dela eller förorena ytorna på väggpaneler och undertakspaneler som behöver behållas.Efter öppnandet av det upphöjda golvet när fundamentet inte kan installeras i tid, bör skyddsräcken och faroskyltar installeras;efter att produktionsutrustningen har installerats ska gapet runt hålet tätas, och utrustningen och tätningskomponenterna ska vara i flexibel kontakt, och anslutningen mellan tätningskomponenten och väggplattan ska vara tät och fast;tätningsytan på ena sidan av arbetsrummet ska vara plan och slät.
Posttid: 2023-06-06