IS0 14644-5 kräver att installationen av fast utrustning i rena rum ska baseras på utformningen och funktionen av rent rum. Följande detaljer kommer att introduceras nedan.
1. Metod för utrustning Installation: Den ideala metoden är att stänga rent rum under utrustningsinstallationsperioden och ha en dörr som kan uppfylla utrustningsvinkeln eller reservera en kanal på kortet för att låta ny utrustning passera och gå in i Clean Rum För att förhindra rent rum nära installationsperioden från att förorenas bör skyddsåtgärder vidtas för att säkerställa att det rena rummet fortfarande uppfyller sina renhetskrav och det efterföljande arbete som krävs.
2. Om arbetet i rent rum inte kan stoppas under varje installationsperiod, eller om det finns strukturer som måste demonteras, måste det löpande rena rummet vara effektivt isolerat från arbetsområdet: tillfälliga isoleringsväggar eller partitioner kan användas. För att inte hindra installationsarbetet bör det finnas tillräckligt med utrymme runt utrustningen. Om villkoren tillåter kan åtkomst till isoleringsområdet ske via servicekanaler eller andra icke-kritiska områden: Om detta inte är möjligt bör åtgärder vidtas för att minimera föroreningspåverkan orsakade av installationsarbetet. Isoleringsområdet bör upprätthålla lika tryck eller negativt tryck. Den rena lufttillförseln bör stängas av i höghuset för att undvika positivt tryck på de omgivande rena rummen. Om tillgången till isoleringsområdet endast är genom ett angränsande rent rum, bör klibbiga kuddar användas för att ta bort smuts från skor.
3. Efter att ha kommit in i området med hög höjd kan engångsstövlar eller överskivor och arbetskläder i ett stycke användas för att undvika att förorena de rena kläderna. Dessa engångsartiklar bör tas bort innan du lämnar karantänområdet. Metoder för övervakning av området runt isoleringsområdet under installationsprocessen för utrustning bör utvecklas och frekvensen av övervakning bör fastställas för att säkerställa att all förorening som kan läcka in i det angränsande rena rummet upptäcks. Efter att isoleringsåtgärderna har inrättats kan olika nödvändiga offentliga serviceanläggningar, såsom el, vatten, gas, vakuum, tryckluft och avloppsvattenrörledningar. Uppmärksamhet bör ägnas åt att kontrollera och isolera röken och skräp som genereras av operationen så mycket som möjligt för att undvika oavsiktlig spridning till det omgivande rena rummet. Det bör också underlätta effektiv rengöring innan isoleringsbarriären tar bort. Efter att offentliga serviceanläggningar uppfyller användningsbehovet bör hela isoleringsområdet rengöras och dekontamineras enligt de föreskrivna rengöringsförfarandena. Alla ytor, inklusive alla väggar, utrustning (fast och rörlig) och golv, bör dammsugas, torkas och moppas, med särskild uppmärksamhet åt rengöringsområden bakom utrustningsvakter och under utrustning.
4. Ett preliminärt test av utrustningens prestanda kan utföras baserat på de faktiska förhållandena i det rena rummet och installerad utrustning, men efterföljande godkännandeprov bör genomföras när de rena miljöförhållandena är helt uppfyllda. Beroende på förhållandena på installationsplatsen kan du börja demontera isoleringsväggen försiktigt; Om den rena lufttillförseln har stängts av, starta om den; Tiden för detta arbetsstadium bör väljas noggrant för att minimera störningar i det vanliga arbetet i det rena rummet. För närvarande kan det vara nödvändigt att mäta om koncentrationen av luftburna partiklar uppfyller de angivna kraven.
5. Rengöring och beredning av inredningen i utrustningen och viktiga processkamrar bör utföras under normala rena rumsförhållanden. Alla inre kamrar och alla ytor som kommer i kontakt med produkten eller är involverade i produkttransport måste torkas ner till den erforderliga nivån av renlighet. Rengöringssekvensen för utrustningen bör vara från topp till botten. Om partiklar sprids kommer större partiklar att falla till botten av utrustningen eller marken på grund av tyngdkraften. Rengör den yttre ytan på utrustningen från topp till botten. Vid behov bör ytpartikeldetektering utföras i områden där produkt- eller produktionsprocesskraven är kritiska.
6. Med tanke på egenskaperna hos rena rum, särskilt det stora området, höga investeringar, hög produktion och mycket strikta renhetskrav för högteknologiska rena rum, är installationen av produktionsprocessutrustning i denna typ av ren fabrik mer lik den av vanliga rena rum. För detta ändamål gjorde den nationella standarden "kod för ren fabrikskonstruktion och kvalitetsacceptans" som släpptes 2015 några bestämmelser för installation av produktionsprocessutrustning i rena fabriker, främst inklusive följande.
①. För att förhindra förorening eller till och med skada på det rena rummet som har genomgått "tomt" acceptans under installationsprocessen för produktionsprocessutrustning, får installationsprocessen för utrustningen inte ha överdriven vibration eller lutning, och får inte delas upp och förorena utrustning ytor.
②. För att göra installationen av produktionsprocessutrustning i det rena rummet ordnat och utan eller med mindre sittande och att följa det rena produktionshanteringssystemet i ren verkstad, se till att installationsprocessen för produktionsutrustningen skyddas enligt de olika " Färdiga produkter "och" Semi-Finished Products "som accepteras i" tomt tillstånd ", material, maskiner etc. som måste användas i installationsprocessen får inte avge eller kan producera (inklusive i normal drift av det rena rummet för en lång tid) föroreningar som är skadlig för de producerade produkterna. Rena material som är dammfria, rostfria, fettfria och inte producerar damm under användning bör användas.
③. Byggnadsdekorationsytan i det rena rummet bör skyddas med rena, dammfria plattor, filmer och andra material; Utrustningsstödplattan bör göras enligt kraven på design eller utrustning. Om det inte finns några krav, bör rostfritt stålplattor eller plastplattor användas. Kolstålprofiler som används för oberoende fundament och golvförstärkningar bör behandlas med antikorrosion, och ytan bör vara platt och slät; Elastiska tätningsmaterial som används för tätning.
④. Material bör markeras med ingredienser, sorter, tillverkningsdatum, lagringsgiltighetsperiod, konstruktionsmetodinstruktioner och produktkvalifikationscertifikat. Maskiner och verktyg som används i rena rum får inte flyttas till icke-rena rum för användning. Maskiner och verktyg får inte flyttas till det rena rummet för användning. Maskiner och verktyg som används i det rena området bör se till att de utsatta delarna av maskinen inte producerar damm eller vidtar åtgärder för att förhindra att damm förorenar miljön. Vanligt använda maskiner och verktyg bör rengöras i luftlåset innan de flyttas till det rena området. , bör uppfylla kraven för att vara oljefri, smutsfri, dammfri och rostfri, och bör flyttas efter att ha passerat inspektionen och fäst ett "rent" eller "rent område endast" -skylt.
⑤. Produktionsprocessutrustningen i det rena rummet måste installeras på "specifika golv" som upphöjda golv. Utrustningsstiftelsen bör i allmänhet ställas in på det lägre tekniska mezzaningolvet eller på cementporös platta; De aktiviteter som måste demonteras för att installera grunden på golvet efter att ha klippts med en handhållen elektrisk såg bör förstärkas, och dess bärande kapacitet bör inte vara lägre än den ursprungliga bärande kapaciteten. När en oberoende grund för en stålramstruktur används, bör den vara gjord av galvaniserat material eller rostfritt stål, och den utsatta ytan ska vara platt och slät.
⑥. När installationsprocessen för produktionsprocessutrustning i rent rum kräver öppningshål i väggpaneler, upphängda tak och upphöjda golv, får borrningsverksamheten inte dela eller förorena ytorna på väggpaneler och upphängda takpaneler som måste behållas. Efter öppningen av det upphöjda golvet när grunden inte kan installeras i tid, bör säkerhetsskydd och riskskyltar installeras; När produktionsutrustningen har installerats bör klyftan runt hålet förseglas, och utrustningen och tätningskomponenterna bör vara i flexibel kontakt, och anslutningen mellan tätningskomponenten och väggplattan ska vara snäv och fast; Tätningsytan på ena sidan av arbetsrummet ska vara platt och slät.
Posttid: Sep-06-2023