Renrumsrenhet bestäms av det maximalt tillåtna antalet partiklar per kubikmeter (eller per kubikfot) luft och delas vanligtvis in i klass 10, klass 100, klass 1000, klass 10000 och klass 100000. Inom teknik används inomhusluftcirkulation vanligtvis för att upprätthålla renhetsnivån i det rena området. Under förutsättningen att temperatur och fuktighet strikt kontrolleras kommer luften in i renrummet efter att ha filtrerats av filtret, och inomhusluften lämnar renrummet genom returluftssystemet. Sedan filtreras den av filtret och återvänder till renrummet.
Nödvändiga villkor för att uppnå renrumsrenhet:
1. Lufttillförselns renhet: För att säkerställa lufttillförselns renhet måste de luftfilter som krävs för renrumssystemet väljas och installeras enligt faktiska behov, särskilt slutfiltren. Generellt kan HEPA-filter användas för 1 miljon nivåer, och under Sub-HEPA eller HEPA-filter kan användas för klass 10000, HEPA-filter med filtreringseffektivitet ≥99,9% kan användas för klass 10000 till 100, och filter med filtreringseffektivitet ≥99,999% kan användas för klass 100-1;
2. Luftfördelning: Lämplig lufttillförselmetod måste väljas utifrån renrummets och renrumssystemets egenskaper. Olika lufttillförselmetoder har sina egna fördelar och nackdelar och måste utformas utifrån faktiska behov;
3. Lufttillförselvolym eller lufthastighet: Tillräcklig ventilationsvolym är avsedd att späda ut och eliminera förorenad inomhusluft, vilket varierar beroende på olika renhetskrav. När renhetskraven är högre bör antalet luftbyten ökas i motsvarande grad;
4. Statisk tryckskillnad: Renrummet behöver upprätthålla ett visst positivt tryck för att säkerställa att renrummet inte förorenas eller att det förorenas mindre för att bibehålla sin renhet.
Renrumsdesign är en komplex process. Ovanstående är bara en kort översikt över hela systemet. Själva skapandet av ett renrum kräver förberedande forskning, ett stort antal beräkningar av kyl- och värmebelastning, beräkningar av luftvolymbalans etc. på medellång sikt, samt en rimlig teknisk design, optimering, teknisk installation och driftsättning för att säkerställa balans och rimlighet i hela systemet.
Publiceringstid: 25 sep-2023
