Chipavkastningshastigheten i IC -tillverkningsindustrin är nära besläktad med storleken och antalet luftpartiklar avsatta på chipet. En bra luftflödesorganisation kan ta de partiklar som genereras av dammkällan bort från det rena rummet för att säkerställa renligheten i det rena rummet, det vill säga luftflödesorganisationen i rent rum spelar en viktig roll i avkastningshastigheten för IC -produktion. Utformningen av luftflödesorganisationen i Clean Room måste uppnå följande mål: minska eller eliminera virvelströmmen i flödesfältet för att undvika kvarhållning av skadliga partiklar; Håll en lämplig positiv tryckgradient för att förhindra korsföroreningar.
Luftflödesstyrka
Enligt Clean Room -principen inkluderar krafterna som verkar på partiklarna masskraft, molekylkraft, attraktion mellan partiklar, luftflödeskraft etc.
Luftflödeskraft: hänvisar till luftflödets kraft orsakad av leveransen, returnluftflödet, termisk konvektion luftflöde, konstgjord omrörning och andra luftflöden med en viss flödeshastighet för att bära partiklarna. För teknisk kontroll av ren rumsmiljö är luftflödeskraft den viktigaste faktorn.
Experiment har visat att i luftflödesrörelsen följer partiklarna luftflödesrörelsen med nästan samma hastighet. Partiklarnas tillstånd i luften bestäms av luftflödesfördelningen. Luftflödena som påverkar inomhuspartiklar inkluderar huvudsakligen: lufttillförselflödet (inklusive primärt luftflöde och sekundärt luftflöde), luftflöde och termisk konvektion luftflöde orsakat av människor som går och luftflödet orsakat av processdrift och industriutrustning. Olika lufttillförselmetoder, hastighetsgränssnitt, operatörer och industriutrustning och inducerade fenomen i rena rum är alla faktorer som påverkar renlighetsnivån.
Faktorer som påverkar luftflödesorganisationen
1. Påverkan av luftförsörjningsmetoden
(1). Lufttillförselhastighet
För att säkerställa enhetligt luftflöde måste lufttillförselhastigheten vara enhetlig i ett enkelriktat rent rum; Den döda zonen för lufttillförselytan måste vara liten; och tryckfallet i ULPA måste också vara enhetligt.
Uniform lufttillförselhastighet: Det vill säga luftflödets ojämnhet styrs inom ± 20%.
Mindre död zon på lufttillförselytan: inte bara bör planområdet för ULPA -ramen minskas, utan ännu viktigare, modulär FFU bör antas för att förenkla den redundanta ramen.
För att säkerställa vertikalt enkelriktat luftflöde är filtrets tryckfall också mycket viktigt, vilket kräver att tryckförlusten i filtret inte kan avvika.
(2). Jämförelse mellan FFU -system och axiellt flödesfläktsystem
FFU är en lufttillförselenhet med en fläkt och ett filter (ULPA). Efter att luften sugs in av Centrifugalfläkten av FFU omvandlas det dynamiska trycket till statiskt tryck i luftkanalen och blåst ut jämnt av ULPA. Lufttillförseltrycket på taket är negativt tryck, så att inget damm kommer att läcka in i det rena rummet när filtret byts ut. Experiment har visat att FFU -systemet är överlägset det axiella flödesfläktsystemet när det gäller luftuttagens enhetlighet, luftflödesparallellitet och ventilationseffektivitetsindex. Detta beror på att luftflödesparallellen för FFU -systemet är bättre. Användningen av FFU -systemet kan göra luftflödet i det rena rummet bättre organiserat.
(3). Påverkan av FFU: s egen struktur
FFU består huvudsakligen av fläktar, filter, luftflödeshandelsenheter och andra komponenter. Ulpa Ultra-hög effektivitetsfilter är den viktigaste garantin för huruvida det rena rummet kan uppnå den nödvändiga renheten i designen. Materialet i filtret kommer också att påverka flödesfältets enhetlighet. När ett grovt filtermaterial eller en laminär flödesplatta läggs till filterutloppet kan utloppsflödesfältet enkelt göras enhetligt.
2. Påverkan av olika hastighetsgränssnitt av renlighet
I samma rena rum, mellan arbetsområdet och icke-arbetande område med vertikalt enkelriktat flöde, på grund av skillnaden i lufthastighet vid ULPA-utloppet, kommer en blandad virveleffekt att genereras vid gränssnittet, och detta gränssnitt kommer att bli en turbulent Luftflödeszon med särskilt hög luftturbulensintensitet. Partiklar kan överföras till ytan på utrustningen och förorena utrustningen och skivorna.
3. Effekten av personal och utrustning
När det rena rummet är tomt uppfyller luftflödesegenskaperna i rummet i allmänhet designkraven. När utrustningen kommer in i det rena rummet, personalen flyttar och produkter överförs kommer det oundvikligen att vara hinder för luftflödesorganisationen. Till exempel, vid de utskjutande hörnen eller kanterna på utrustningen, kommer gasen att avledas för att bilda en turbulent zon, och vätskan i zonen utförs inte lätt av gasen och därmed orsakar föroreningar. Samtidigt värms utrustningen upp på grund av kontinuerlig drift, och temperaturgradienten kommer att orsaka en återflödeszon nära maskinen, vilket kommer att öka ackumuleringen av partiklar i återflödeszonen. Samtidigt kommer den höga temperaturen lätt att få partiklarna att fly. Den dubbla effekten förvärrar svårigheten att kontrollera den totala vertikala laminära renligheten. Dammet från operatörerna i det rena rummet är mycket enkelt att hålla fast vid skivorna i dessa återflödeszoner.
4. Påverkan av återvändande luftgolv
När motståndet hos återvändande luft som passerar genom golvet är annorlunda kommer en tryckskillnad att genereras, så att luften kommer att flyta i riktning mot mindre motstånd och enhetligt luftflöde kommer inte att erhållas. Den nuvarande populära designmetoden är att använda förhöjda golv. När öppningshastigheten för förhöjda våningar är 10%kan luftflödeshastigheten i rumets arbetshöjd jämnt fördelas. Dessutom bör strikt uppmärksamhet ägnas åt rengöring av arbetet för att minska golvföroreningskällan.
5. Induktionsfenomen
The so-called induction phenomenon refers to the phenomenon that the airflow in the opposite direction of the uniform flow is generated, and the dust generated in the room or the dust in the adjacent contaminated area is induced to the upwind side, so that the dust kan förorena chipet. Följande är de möjliga induktionsfenomenen:
(1). Blindplatta
I ett rent rum med vertikalt enkelriktat flöde, på grund av lederna på väggen, finns det i allmänhet stora blinda plattor som kommer att generera turbulens i det lokala returflödet.
(2). Lampor
Belysningsarmaturerna i det rena rummet kommer att ha större effekt. Eftersom värmen med fluorescerande lampor får luftflödet att stiga kommer det inte att finnas något turbulent område under de lysrörslamporna. I allmänhet är lamporna i det rena rummet utformade i en tårform för att minska lamporna på luftflödesorganisationen.
(3.) Klyftor mellan väggarna
När det finns luckor mellan partitioner med olika renlighetsnivåer eller mellan partitioner och tak, kan damm från området med låga renhetskrav överföras till det angränsande området med hög renlighetskrav.
(4). Avstånd mellan maskinen och golvet eller väggen
Om klyftan mellan maskinen och golvet eller väggen är mycket liten kommer det att orsaka turbulens för rebound. Lämna därför ett gap mellan utrustningen och väggen och höj maskinen för att undvika att låta maskinen röra marken direkt.
Posttid: Feb-05-2025