① Renrummet är en stor energiförbrukare. Dess energiförbrukning inkluderar el, värme och kyla som används av produktionsutrustningen i renrummet, strömförbrukning, värmeförbrukning och kylbelastning för reningsluftkonditioneringssystemet, strömförbrukning för kylenheten och avgasbehandling. Enhetens strömförbrukning och värmeförbrukning, strömförbrukning, värmeförbrukning och kylbelastning för beredning och transport av olika högrena ämnen, strömförbrukning, värmeförbrukning, kylning och belysningsströmförbrukning för olika offentliga anläggningar. Energiförbrukningen för renrum under samma yta är 10 gånger större än för en kontorsbyggnad, eller ännu större. Vissa renrum inom elektronikindustrin kräver stora utrymmen, stora ytor och stora volymer. Med utvecklingen av vetenskap och teknik, för att uppfylla de storskaliga och höga prestandakraven för elektronisk produktproduktion, används ofta storskalig precisionsproduktionsutrustning integrerad med flera processer för kontinuerlig produktion. För detta ändamål måste den anordnas i ett stort byggnadsområde, rent produktionsområde och övre och nedre teknik. "Mezzaninen" är ett stort utrymme och en kombinerad storskalig renrumsbyggnad.
② Motsvarande transportledningar och nödvändiga avgasreningsanläggningar installeras ofta i renrum inom elektronikindustrin. Dessa avgasreningsanläggningar förbrukar inte bara energi, utan ökar också lufttillförseln i renrummet. Renrum för elektroniska produkter förbrukar mycket energi. De luftreningsanläggningar som krävs för att uppfylla en ren produktionsmiljö, inklusive reningssystem för luftkonditionering samt kyl- och värmesystem, förbrukar mycket energi. Om kraven på luftrenhetsnivå är strikta, på grund av den rena lufttillförseln och den stora friskluftsvolymen, blir energiförbrukningen stor, och anläggningarna är i drift kontinuerligt dygnet runt nästan varje dag året runt.
③Kontinuitet i användningen av olika energikrävande anläggningar. För att säkerställa en jämn luftrenhetsnivå i olika renrum, stabiliteten hos olika inomhusfunktionella parametrar och behoven hos produktproduktionsprocesser, är många renrum i drift online, vanligtvis dygnet runt. På grund av den kontinuerliga driften av renrummet måste strömförsörjning, kylning, uppvärmning etc. schemaläggas enligt produktproduktionsprocessens krav eller produktionsplaneringsarrangemang i renrummet, och olika energikällor kan levereras i tid. I energiförbrukningen för olika typer av renrum, förutom energiförsörjningen av produktproduktionsutrustning och kylvatten, högrena ämnen, kemikalier och specialgaser som är nära relaterade till produktsortimentet, förändras energiförsörjningen i renrum med produktsortimentet och produktionsprocessen. En stor andel av den totala energiförbrukningen är el- och kylnings- (värme) energiförbrukningen för kylmaskiner och reningsluftkonditioneringssystem.
④ Enligt kraven för produktproduktionsprocessen och miljökontrollkraven för renrum, oavsett om det är vinter, övergångssäsong eller sommar, finns det en efterfrågan på så kallad "lågnivåvärmeenergi" med en temperatur under 60 ℃. Till exempel kräver reningsluftkonditioneringssystem tillförsel av varmvatten med olika temperaturer för att värma upp friskluft utomhus under vinter- och övergångssäsonger, men värmetillförseln skiljer sig åt under olika årstider. En stor mängd rent vatten används mestadels i renrum för produktion av elektroniska produkter. Timförbrukningen av rent vatten vid tillverkning av integrerade kretschip och TFT-LCD-paneltillverkningsprocesser når hundratals ton. För att erhålla den erforderliga kvaliteten på rent vatten används vanligtvis RO-omvänd osmosteknik. RO-utrustning kräver att vattentemperaturen hålls runt 25 °C och behöver ofta tillföra varmvatten med en viss temperatur. Forskning på vissa företag visar att lågenergi i renrum, såsom kondensationsvärme från kylaggregat, under senare år gradvis har använts för att tillhandahålla lågtemperaturvarmvatten runt 40°C. Detta har ersatt den ursprungliga användningen av lågtrycksånga eller högtemperaturvarmvatten för uppvärmning/förvärmning, vilket har uppnått uppenbara energibesparande och ekonomiska fördelar. Därför har renrum både "resurserna" hos lågenergikällor och behovet av lågenergi. Detta är en av de viktiga egenskaperna hos renrum som integrerar och använder lågenergi för att minska energiförbrukningen.
Publiceringstid: 14 november 2023