Partikelkällorna är indelade i oorganiska partiklar, organiska partiklar och levande partiklar. För människokroppen är det lätt att orsaka luftvägs- och lungsjukdomar, och det kan också orsaka allergier och virusinfektioner. För kiselchips kommer fastsättning av dammpartiklar att orsaka deformation eller kortslutning av integrerade kretsar, vilket gör att chipsen förlorar sina driftsfunktioner, så kontroll av mikroföroreningskällor har blivit en viktig del av renrumshanteringen.
Vikten av miljökontroll i renrum ligger i att säkerställa att miljöförhållandena i produktionsprocessen uppfyller specifika renhetsstandarder, vilket är avgörande för många industrier. Följande är vikten och den specifika rollen för miljökontroll i renrum:
1. Säkerställ produktkvaliteten
1.1 Förhindra föroreningar: Inom industrier som halvledare, läkemedel och medicinsk utrustning kan små partiklar orsaka produktfel eller -fel. Genom att kontrollera luftkvaliteten och partikelkoncentrationen i renrum kan dessa föroreningar effektivt förhindras från att påverka produkten.
Utöver den initiala investeringen i hårdvara och utrustning kräver underhåll och kontroll av renrumsrenlighet också ett bra "programvaru"-hanteringssystem för att upprätthålla god renlighet. Operatörerna har störst inverkan på renrummets renlighet. När operatörerna går in i renrummet ökar dammet avsevärt. När det finns människor som går fram och tillbaka försämras renligheten omedelbart. Det kan ses att den främsta orsaken till försämringen av renligheten är mänskliga faktorer.
1.2 Konsekvens: Renrumsmiljön bidrar till att upprätthålla produktionsprocessens konsekvens och repeterbarhet, vilket säkerställer en stabil produktkvalitet.
När det gäller glassubstratet kommer vidhäftning av dammpartiklar att orsaka repor på glassubstratet, kortslutningar och bubblor, och annan dålig processkvalitet, vilket leder till kassation. Därför har kontroll av föroreningskällor blivit en viktig del av renrumshanteringen.
Externt dammintrång och förebyggande
Renrummet bör upprätthålla korrekt positivt tryck (>0,5 mm/Hg), göra ett bra jobb i det förberedande byggprojektet för att säkerställa att det inte finns några luftläckor, och rengöra och torka av personal, utrustning, råmaterial, verktyg, förbrukningsartiklar etc. innan de tas in i renrummet. Samtidigt måste rengöringsverktyg placeras korrekt och bytas ut eller rengöras regelbundet.
Dammgenerering och förebyggande åtgärder i renrum
Lämpligt val av renrumsmaterial såsom skiljeväggar och golv, kontroll av dammgenerering i processutrustning, dvs. regelbundet underhåll och rengöring, produktionspersonal får inte gå omkring eller göra stora kroppsrörelser på sina platser, och förebyggande åtgärder som att lägga till klibbiga mattor vidtas på specialstationer.
2. Förbättra produktionseffektiviteten
2.1 Minska kassationsgraden: Genom att minska föroreningar och föroreningar i produktionsprocessen kan kassationsgraden minskas, utbytet ökas och därmed produktionseffektiviteten förbättras.
Till exempel: Det finns 600 steg i waferproduktion. Om utbytet för varje process är 99 %, vad är det totala utbytet för 600 processprocedurer? Svar: 0,99600 = 0,24 %.
För att göra en process ekonomiskt genomförbar, hur högt måste utbytet från varje steg vara?
•0,999600 = 54,8 %
•0,9999600=94,2 %
Varje processutbyte måste nå mer än 99,99 % för att uppnå det slutliga processutbytet på mer än 90 %, och kontaminering av mikropartiklar kommer att direkt påverka processutbytet.
2.2 Accelerera processen: Att arbeta i en ren miljö kan minska onödig rengöring och omarbetningstid, vilket gör produktionsprocessen mer effektiv.
3. Säkerställa personalens hälsa och säkerhet
3.1 Arbetshälsa: För vissa produktionsprocesser som kan släppa ut skadliga ämnen kan renrum förhindra att skadliga ämnen sprids till den yttre miljön och skydda arbetstagarnas hälsa. Sedan mänsklighetens utveckling har teknik, utrustning och kunskap förbättrats, men luftkvaliteten har försämrats. En person inhalerar cirka 270 000 M3 luft under sin livstid och tillbringar 70 % till 90 % av sin tid inomhus. Små partiklar inhaleras av människokroppen och deponeras i andningssystemet. Partiklar på 5 till 30 µm deponeras i nasofarynx, partiklar på 1 till 5 µm deponeras i luftstrupen och bronkerna, och partiklar under 1 µm deponeras i alveolväggen.
Människor som befinner sig i ett rum med otillräcklig friskluftsmängd under en längre tid är benägna att drabbas av "inomhussyndromet", med symtom som huvudvärk, tryck över bröstet och trötthet, och är också benägna att drabbas av sjukdomar i luftvägarna och nervsystemet. Mitt lands nationella standard GB/T18883-2002 föreskriver att friskluftsmängden inte bör vara mindre än 30 m3/h per person.
Friskluftvolymen i renrummet bör ta det maximala värdet av följande två poster:
a. Summan av den luftvolym som krävs för att kompensera för den inomhusluftsvolymen och för att säkerställa det inomhusluftsövertrycket.
b. Säkerställ att renrumspersonalen behöver tillräckligt med friskluft. Enligt specifikationerna för renrumsdesign får friskluftsvolymen per person och timme inte vara mindre än 40 m3.
3.2 Säker produktion: Genom att kontrollera miljöparametrar som luftfuktighet och temperatur kan säkerhetsrisker som elektrostatisk urladdning undvikas för att säkerställa produktionssäkerheten.
4. Uppfylla myndighets- och standardkrav
4.1 Branschstandarder: Många branscher har strikta renlighetsstandarder (som ISO 14644), och produktionen måste utföras i renrum av specifika kvaliteter. Efterlevnad av dessa standarder är inte bara ett myndighetskrav, utan också en återspegling av företagens konkurrenskraft.
För ren arbetsbänk, ren bod, laminärflödesfönster, fläktfilterenhet FFU, ren garderob, laminärflödeskåpa, vågkåpa, rengaller, självrengörande produkter i luftduschserien är det nödvändigt att standardisera metoderna för renhetstestning av befintliga produkter för att förbättra produkternas tillförlitlighet.
4.2 Certifiering och revision: Godkänn revisioner av tredjepartscertifieringsorgan och erhåll relevanta certifieringar (såsom GMP, ISO 9001, etc.) för att öka kundernas förtroende och utöka marknadstillträdet.
5. Främja teknisk innovation
5.1 FoU-stöd: Rena rum erbjuder en idealisk experimentell miljö för högteknologisk produktutveckling och hjälper till att påskynda utvecklingen av nya produkter.
5.2 Processoptimering: I en strikt kontrollerad miljö är det lättare att observera och analysera effekten av processförändringar på produktens prestanda, vilket främjar processförbättring.
6. Förbättra varumärkesimagen
6.1 Kvalitetssäkring: Att ha högkvalitativa, rena produktionsanläggningar kan förbättra varumärkesimagen och öka kundernas förtroende för produktkvaliteten.
6.2 Marknadskonkurrens: Produkter som kan produceras i en ren miljö betraktas ofta som en symbol för hög kvalitet och hög tillförlitlighet, vilket hjälper företag att sticka ut i den hårda marknadskonkurrensen.
7. Minska reparations- och underhållskostnader
7.1 Förläng utrustningens livslängd: Produktionsutrustning och verktyg som arbetar under rena förhållanden är mindre känsliga för korrosion och slitage, vilket förlänger livslängden och minskar underhållsfrekvensen och kostnaderna.
7.2 Minska energiförbrukningen: Genom att optimera designen och hanteringen av renrum, förbättra energieffektiviteten, minska energiförbrukningen och driftskostnaderna.
Fyra principer för drifthantering av renrum:
1. Ta inte med dig:
HEPA-filtrets ram får inte läcka.
Det avsedda trycket måste bibehållas inomhus.
Operatörerna måste byta kläder och gå in i renrummet efter luftduschen.
Allt material, utrustning och verktyg måste rengöras innan de får tas in.
2. Generera inte:
Människor måste bära dammfria kläder.
Minska onödiga åtgärder.
Använd inte material som lätt genererar damm.
Onödiga föremål kan inte tas med.
3. Samla inte:
Det bör inte finnas några hörn och maskinperiferier som är svåra att rengöra eller rengöra.
Försök att minimera exponerade luftkanaler, vattenrör etc. inomhus.
Rengöring måste utföras enligt standardmetoder och specificerade tider.
4. Ta omedelbart bort:
Öka antalet luftbyten.
Avgasrör nära den dammgenererande delen.
Förbättra luftflödets form för att förhindra att damm fastnar på produkten.
Kort sagt, miljökontroll i renrum är av stor betydelse för att säkerställa produktkvalitet, förbättra produktionseffektiviteten, skydda personalens hälsa och säkerhet, uppfylla myndighetskrav, främja teknisk innovation och stärka varumärkesimagen. Företag bör ta hänsyn till dessa faktorer fullt ut när de bygger och underhåller renrum för att säkerställa att renrummen kan uppfylla produktionens och FoU:s behov.
Publiceringstid: 12 februari 2025