Källorna till partiklar är indelade i oorganiska partiklar, organiska partiklar och levande partiklar. För människokroppen är det lätt att orsaka andnings- och lungsjukdomar, och det kan också orsaka allergier och virusinfektioner; för kiselchips kommer fastsättningen av dammpartiklar att orsaka deformation eller kortslutning av integrerade kretsar, vilket gör att chipsen förlorar sina driftsfunktioner, så kontrollen av mikroföroreningskällor har blivit en viktig del av renrumshanteringen.
Vikten av miljökontroll i renrum ligger i att säkerställa att miljöförhållandena i produktionsprocessen uppfyller specifika renhetsstandarder, vilket är avgörande för många industrier. Följande är vikten och den specifika rollen för miljökontroll i renrum:
1. Säkerställ produktkvalitet
1.1 Förhindra föroreningar: Inom industrier som halvledare, läkemedel och medicinsk utrustning kan små partikelföroreningar orsaka produktdefekter eller fel. Genom att kontrollera luftkvaliteten och partikelkoncentrationen i renrummet kan dessa föroreningar effektivt förhindras från att påverka produkten.
Förutom den initiala hårdvaruutrustningsinvesteringen kräver underhåll och kontroll av renrumsrenlighet också bra "programvara"-ledningssystem för att upprätthålla god renlighet. Av dataresultaten i ovanstående figur kan man se att operatörerna har störst inverkan på renrummets renlighet. När operatörerna går in i renrummet ökar dammet avsevärt. När det är folk som går fram och tillbaka försämras genast städningen. Det kan ses att den främsta orsaken till försämringen av renlighet är mänskliga faktorer.
1.2 Konsistens: Renrumsmiljön hjälper till att upprätthålla konsistensen och repeterbarheten i produktionsprocessen, vilket säkerställer stabil produktkvalitet.
När det gäller glassubstratet kommer vidhäftningen av dammpartiklar att orsaka repor på glassubstratet, kortslutningar och bubblor och annan dålig processkvalitet, vilket resulterar i skrotning. Därför har kontroll av föroreningskällor blivit en viktig del av renrumshantering.
Externt dammintrång och förebyggande
Renrummet ska upprätthålla ett korrekt övertryck (>0,5 mm/Hg), göra ett bra jobb i det preliminära byggprojektet för att säkerställa att det inte finns något luftläckage och innan personal, utrustning, råvaror, verktyg, förbrukningsmaterial etc tas med. in i rena rummet måste de rengöras och torkas, etc. Dammförebyggande åtgärder. Samtidigt måste rengöringsverktyg placeras korrekt och bytas ut eller rengöras regelbundet.
Dammbildning och förebyggande i rena rum
Lämpligt urval av renrumsmaterial såsom skiljeskivor och golv, kontroll av processutrustning, dvs regelbundet underhåll och rengöring, produktionspersonal får inte gå runt eller göra stora kroppsrörelser på sina platser och förebyggande åtgärder som att lägga till klibbiga mattor är tagna på speciella stationer.
2. Förbättra produktionseffektiviteten
2.1 Minska skrothastigheten: Genom att minska föroreningar och föroreningar i produktionsprocessen kan skrothastigheten minskas, utbytet kan ökas och därmed produktionseffektiviteten kan förbättras.
Till exempel: Det finns 600 steg i waferproduktion. Om utbytet av varje process är 99 %, vad är det totala utbytet av 600 processprocedurer? Svar: 0,99^600 = 0,24%.
För att göra en process ekonomiskt genomförbar, hur högt måste utbytet av varje steg vara?
•0,999^600= 54,8 %
•0,9999^600=94,2 %
Varje processutbyte måste nå mer än 99,99 % för att uppnå det slutliga processutbytet som är större än 90 %, och kontamineringen av mikropartiklar kommer att direkt påverka processutbytet.
2.2 Accelerera processen: Att arbeta i en ren miljö kan minska onödig rengöring och omarbetningstid, vilket gör produktionsprocessen mer effektiv.
3. Säkerställa personalens hälsa och säkerhet
3.1 Arbetshälsa: För vissa produktionsprocesser som kan släppa ut skadliga ämnen kan renrum förhindra att skadliga ämnen sprids till den yttre miljön och skydda arbetarnas hälsa. Sedan mänsklighetens utveckling har teknik, utrustning och kunskap förbättrats, men luftkvaliteten har gått tillbaka. En person andas in cirka 270 000 M3 luft under sin livstid och tillbringar 70 % till 90 % av sin tid inomhus. Små partiklar andas in av människokroppen och deponeras i andningsorganen. Partiklar på 5 till 30um deponeras i nasofarynx, partiklar på 1 till 5um deponeras i luftstrupen och bronkierna och partiklar under 1um deponeras i alveolväggen.
Människor som befinner sig i ett rum med otillräcklig friskluftsvolym under lång tid är benägna att få "inomhussyndrom", med symtom som huvudvärk, tryck över bröstet och trötthet, och är också benägna att drabbas av sjukdomar i andningsvägarna och nervsystemet. mitt lands nationella standard GB/T18883-2002 föreskriver att friskluftsvolymen inte ska vara mindre än 30m3/h. person.
Friskluftsvolymen i renrummet bör ha det maximala värdet av följande två artiklar:
a. Summan av den luftvolym som krävs för att kompensera för inomhusutblåsningsvolymen och för att säkerställa övertrycksvärdet inomhus.
b. Säkerställ den friska luft som krävs av renrumspersonalen. Enligt renrumsdesignspecifikationerna är friskluftsvolymen per person och timme inte mindre än 40m3.
3.2 Säker produktion: Genom att kontrollera miljöparametrar som luftfuktighet och temperatur kan säkerhetsrisker som elektrostatisk urladdning undvikas för att säkerställa produktionssäkerheten.
4. Uppfylla regelverk och standardkrav
4.1 Branschstandarder: Många industrier har strikta renhetsstandarder (som ISO 14644), och produktionen måste utföras i renrum av specifika kvaliteter. Att följa dessa standarder är inte bara ett regulatoriskt krav, utan också en återspegling av företagens konkurrenskraft.
För ren arbetsbänk, ren bod, laminärflödesöverföringsfönster, fläktfilterenhet FFU, ren garderob, laminärflödeshuv, våghuv, ren skärm, självrenare, luftduschserieprodukter är det nödvändigt att standardisera metoderna för renhetstestning av befintliga produkter för att förbättra produkternas pålitlighet.
4.2 Certifiering och revision: Klara granskningen av tredjepartscertifieringsbyråer och skaffa relevanta certifieringar (som GMP, ISO 9001, etc.) för att öka kundernas förtroende och utöka marknadstillträdet.
5. Främja teknisk innovation
5.1 FoU-stöd: Rena rum ger en idealisk experimentmiljö för högteknologisk produktutveckling och hjälper till att påskynda utvecklingen av nya produkter.
5.2 Processoptimering: Under en strikt kontrollerad miljö är det lättare att observera och analysera effekten av processförändringar på produktens prestanda, vilket främjar processförbättringar.
6. Förbättra varumärkesimage
6.1 Kvalitetssäkring: Att ha rena produktionsanläggningar av hög standard kan förbättra varumärkesimagen och öka kundernas förtroende för produktkvalitet.
6.2 Marknadskonkurrenskraft: Produkter som kan produceras i en ren miljö ses ofta som en symbol för hög kvalitet och hög tillförlitlighet, vilket hjälper företag att sticka ut i den hårda konkurrensen på marknaden.
7. Minska reparations- och underhållskostnaderna
7.1 Förläng utrustningens livslängd: Produktionsutrustning och verktyg som arbetar under rena förhållanden är mindre känsliga för korrosion och slitage, vilket förlänger livslängden och minskar underhållsfrekvensen och kostnaderna.
7.2 Minska energiförbrukningen: Genom att optimera designen och förvaltningen av renrum, förbättra energieffektiviteten, minska energiförbrukningen och driftskostnaderna.
Fyra principer för hantering av renrumsdrift:
1. Ta inte in:
Ramen på hepa-filtret kan inte läcka.
Det designade trycket måste hållas inomhus.
Operatörer måste byta kläder och gå in i rena rummet efter luftdusch.
Allt material, utrustning och verktyg som används måste rengöras innan de kan tas in.
2. Generera inte:
Personalen måste bära dammfria kläder.
Minska onödiga åtgärder.
Använd inte material som är lätta att generera damm.
Onödiga föremål kan inte tas in.
3. Samla inte:
Det ska inte finnas några hörn och maskinperiferier som är svåra att rengöra eller rengöra.
Försök att minimera de utsatta luftkanalerna, vattenledningarna etc. inomhus.
Rengöring ska utföras enligt standardmetoder och angivna tider.
4. Ta bort omedelbart:
Öka antalet luftbyten.
Avgaser nära den dammgenererande delen.
Förbättra luftflödets form för att förhindra att damm fastnar på produkten.
Kort sagt, miljökontroll i renrum är av stor betydelse för att säkerställa produktkvalitet, förbättra produktionseffektiviteten, skydda personalens hälsa och säkerhet, uppfylla regulatoriska krav, främja teknisk innovation och stärka varumärkets image. Företag bör fullt ut överväga dessa faktorer när de bygger och underhåller renrum för att säkerställa att renrummen kan möta behoven för produktion och FoU.
Posttid: 2024-nov-12