1. Inom renrum bör olika typer av kemikalieförvarings- och distributionsrum inrättas baserat på kraven för produktens produktionsprocess och kemikaliens fysikaliska och kemiska egenskaper. Rörledningar bör användas för att förse produktionsutrustningen med nödvändiga kemikalier. Kemikalieförvarings- och distributionsrum inom renrum är vanligtvis belägna i ett hjälpproduktionsområde, vanligtvis på bottenvåningen i en en- eller flervåningsbyggnad, nära en yttervägg. Kemikalier bör förvaras separat enligt deras fysikaliska och kemiska egenskaper. Inkompatibla kemikalier bör placeras i separata kemikalieförvarings- och distributionsrum, separerade med solida skiljeväggar. Farliga kemikalier bör förvaras i separata förvarings- eller distributionsrum med en brandmotståndsklassning på minst 2,0 timmar mellan angränsande rum. Dessa rum bör vara belägna i ett rum på första våningen i produktionsbyggnaden, nära en yttervägg.
2. Renrum inom elektronikindustrin har ofta förvarings- och distributionsrum för syror och alkalier, samt för brandfarliga lösningsmedel. Förvarings- och distributionsrum för syra inrymmer vanligtvis förvarings- och distributionssystem för svavelsyra, fosforsyra, fluorvätesyra och saltsyra. Förvarings- och distributionsrum för alkalier inrymmer vanligtvis förvarings- och distributionssystem för natriumhydroxid, hydroxidkaka, ammoniumhydroxid och tetrametylammoniumhydroxid. Förvarings- och distributionsrum för brandfarliga lösningsmedel inrymmer vanligtvis förvarings- och distributionssystem för organiska lösningsmedel såsom isopropylalkohol (IPA). Renrum i tillverkningsanläggningar för integrerade kretsskivor har också förvarings- och distributionsrum för poleringsslam. Förvarings- och distributionsrum för kemiska kemiska produkter är vanligtvis belägna i hjälpproduktions- eller stödområden nära eller intill rena produktionsområden, vanligtvis på första våningen med direkt tillgång till utomhusmiljön.
3. Kemikalieförvarings- och distributionsrum är utrustade med förvaringsfat eller tankar med varierande kapacitet baserat på typ, mängd och användningsegenskaper hos de kemikalier som krävs för produktproduktion. Enligt standarder och föreskrifter bör kemikalier förvaras separat och klassificeras. Kapaciteten hos de använda faten eller tankarna bör vara tillräcklig för sju dagars förbrukning av kemikalierna. Dagliga fat eller tankar bör också tillhandahållas, med en kapacitet som är tillräcklig för att täcka den 24-timmars förbrukning av kemikalier som krävs för produktproduktion. Förvarings- och distributionsrum för brandfarliga lösningsmedel och oxiderande kemikalier bör vara separata och avgränsade från angränsande rum med solida brandsäkra väggar med en brandmotståndsklassning på 3,0 timmar. Om de är belägna på första våningen i en flervåningsbyggnad bör de vara avgränsade från andra områden med obrännbara golv med en brandmotståndsklassning på minst 1,5 timmar. Det centraliserade kontrollrummet för kemikaliesäkerhets- och övervakningssystemet i renrummet bör vara beläget i ett separat rum.
4. Höjden på kemikalieförvarings- och distributionsrum inom renrum bör bestämmas utifrån utrustningens och rörledningarnas krav och bör generellt inte understiga 4,5 meter. Om kemikalieförvarings- och distributionsrummet är beläget inom renrummets hjälpproduktionsområde bör höjden på kemikalieförvarings- och distributionsrummet överensstämma med byggnadens höjd.
Publiceringstid: 1 augusti 2025