Renrum är en speciell sluten byggnad konstruerad för att kontrollera partiklar i luften i rymden. Generellt sett kontrollerar ett renrum även miljöfaktorer som temperatur och fuktighet, luftflödets rörelsemönster samt vibrationer och buller. Så vad består ett renrum av? Vi hjälper dig att reda ut de fem delarna:
1. Fack
Renrumsavdelningen är indelad i tre delar: omklädningsrum, renrum av klass 1000 och renrum av klass 100. Omklädningsrum och renrum av klass 1000 är utrustade med luftduschar. Renrum och utomhusområden är utrustade med luftduschar. Genomgångslåda används för föremål som kommer in i och ut ur renrummet. När personer kommer in i renrummet måste de först passera genom en luftdusch för att blåsa ut damm som människokroppen bär med sig och minska damm som personalen för in i renrummet. Genomgångslåda blåser bort damm från föremålen för att uppnå en dammborttagningseffekt.
2. Flödesschema för luftsystemet
Systemet använder ett nytt luftkonditioneringssystem + FFU-system:
(1). Struktur för lådan med frisk luftkonditionering
(2).FFU-fläktfilterenhet
Filtret i renrum av klass 1000 använder HEPA, med en filtreringseffektivitet på 99,997 %, och filtret i renrum av klass 100 använder ULPA, med en filtreringseffektivitet på 99,9995 %.
3. Flödesschema för vattensystemet
Vattensystemet är uppdelat i primärsida och sekundärsida.
Vattentemperaturen på primärsidan är 7–12 ℃, vilket matas till luftkonditioneringsboxen och fläktkonvektorn, och vattentemperaturen på sekundärsidan är 12–17 ℃, vilket matas till torrspolsystemet. Vattnet på primärsidan och sekundärsidan är två olika kretsar, anslutna med en plattvärmeväxlare.
Principen för plattvärmeväxlare
Torrspole: En icke-kondenserande spole. Eftersom temperaturen i reningsverkstaden är 22 ℃ och dess daggpunktstemperatur är cirka 12 ℃, kan 7 ℃ vatten inte komma in direkt i renrummet. Därför är vattentemperaturen som kommer in i torrspolen mellan 12-14 ℃.
4. Styrsystemtemperatur (DDC): torrspolsystemstyrning
Fuktighet: Luftkonditioneringen reglerar vatteninloppsvolymen till luftkonditioneringsspolen genom att styra öppningen av trevägsventilen via den avkända signalen.
Positivt tryck: Justering av luftkonditioneringen, enligt signalen från statisk tryckavkänning, justerar automatiskt frekvensen för luftkonditioneringsmotorns inverterare, och justerar därmed mängden friskluft som kommer in i renrummet.
5. Andra system
Renrumssystemet inkluderar inte bara luftkonditioneringssystemet, utan även vakuum, lufttryck, kväve, rent vatten, avloppsvatten, koldioxidsystem, processavgassystem och teststandarder:
(1). Testning av luftflödeshastighet och likformighet. Denna testning är en förutsättning för andra testeffekter av renrum. Syftet med denna testning är att klargöra det genomsnittliga luftflödet och likformigheten i det enkelriktade flödesarbetsområdet i renrum.
(2). Luftvolymdetektering av systemet eller rummet.
(3). Detektion av inomhusrenhet. Syftet med detektion av renhet är att bestämma den nivå av luftrenhet som kan uppnås i renrum, och en partikelräknare kan användas för att detektera detta.
(4). Detektering av självrengöringstid. Genom att bestämma självrengöringstiden kan förmågan att återställa renrummets ursprungliga renhet vid förorening i renrummet fastställas.
(5). Detektering av luftflödesmönster.
(6). Bullerdetektering.
(7). Detektering av belysning. Syftet med belysningstestning är att bestämma belysningsnivån och belysningsjämnheten i renrummet.
(8). Vibrationsdetektering. Syftet med vibrationsdetektering är att bestämma vibrationsamplituden för varje skärm i renrum.
(9). Detektering av temperatur och fuktighet. Syftet med temperatur- och fuktighetsdetektering är möjligheten att justera temperatur och fuktighet inom vissa gränser. Dess innehåll inkluderar detektering av tilluftstemperaturen i renrum, detektering av lufttemperaturen vid representativa mätpunkter, detektering av lufttemperaturen i mittpunkten i renrum, detektering av lufttemperatur vid känsliga komponenter, detektering av inomhusluftens relativa temperatur och detektering av returluftens temperatur.
(10). Detektering av total luftvolym och friskluftvolym.
Publiceringstid: 24 januari 2024