Brandskyddsanläggningar är en viktig del av renrummet. Dess betydelse är inte bara för att dess processutrustning och byggprojekt är dyra, utan också för att renrum är relativt slutna byggnader, och vissa är till och med fönsterlösa verkstäder. Renrumsgångarna är smala och slingrande, vilket gör det svårt att evakuera personal och lära ut eld. För att säkerställa säkerheten för människors liv och egendom bör brandskyddspolicyn "förebyggande först, kombinera förebyggande och brand" implementeras i designen. Förutom att vidta effektiva brandförebyggande åtgärder vid utformningen av renrummet, inrättas även nödvändiga brandbekämpningsanläggningar. Produktionsegenskaperna för renrum är:
(1) Det finns många precisionsutrustning och -instrument, och en mängd olika brandfarliga, explosiva, frätande och giftiga gaser och vätskor används. Brandrisken för vissa tillverkningsdelar tillhör kategori C (som oxidationsdiffusion, fotolitografi, jonimplantation, tryckning och förpackning, etc.), och en del tillhör kategori A (såsom enkristalldragning, epitaxi, kemisk ångavsättning, etc.) .).
(2) Renrummet är mycket lufttätt. När en brand väl bryter ut blir det svårt att evakuera personal och släcka branden.
(3) Byggkostnaden för renrum är hög och utrustningen och instrumenten är dyra. När en brand väl bryter ut kommer de ekonomiska förlusterna att bli enorma.
Baserat på ovanstående egenskaper ställer renrum mycket höga krav på brandskydd. Utöver brandskydds- och vattenförsörjningssystemet bör även fasta brandsläckningsanordningar installeras, särskilt värdefull utrustning och instrument i renrum måste noggrant bestämmas.
Posttid: 2024-apr-11