Brandskyddsanläggningar är en viktig del av renrum. Dess betydelse beror inte bara på att processutrustningen och byggprojekten är dyra, utan också på att renrummen är relativt slutna byggnader, och vissa är till och med fönsterlösa verkstäder. Renrummens passager är smala och slingrande, vilket gör det svårt att evakuera personal och lära ut brand. För att säkerställa människors liv och egendom bör brandskyddspolicyn "förebyggande först, kombinera förebyggande och brand" implementeras i designen. Förutom att vidta effektiva brandförebyggande åtgärder i designen av renrummet, ska dessutom nödvändiga brandbekämpningsanläggningar upprättas. Produktionsegenskaperna för renrummen är:
(1) Det finns många precisionsutrustningar och instrument, och en mängd olika brandfarliga, explosiva, frätande och giftiga gaser och vätskor används. Brandrisken för vissa produktionsdelar tillhör kategori C (såsom oxidationsdiffusion, fotolitografi, jonimplantation, tryckning och förpackning, etc.), och vissa tillhör kategori A (såsom enkristalldragning, epitaxi, kemisk ångdeponering, etc.).
(2) Renrummet är mycket lufttätt. När en brand väl bryter ut blir det svårt att evakuera personal och släcka branden.
(3) Byggkostnaden för renrum är hög och utrustningen och instrumenten är dyra. När en brand bryter ut blir de ekonomiska förlusterna enorma.
Baserat på ovanstående egenskaper har renrum mycket höga krav på brandskydd. Utöver brandskydd och vattenförsörjningssystem bör även fasta brandsläckningsanordningar installeras, särskilt värdefull utrustning och instrument i renrum måste noggrant bestämmas.
Publiceringstid: 11 april 2024