Brandskyddsanläggningar är en viktig del av det rena rummet. Dess betydelse är inte bara för att dess processutrustning och byggprojekt är dyra, utan också för att rena rum är relativt stängda byggnader, och vissa är till och med fönsterlösa workshops. De rena rumspassagerna är smala och krångliga, vilket gör det svårt att evakuera personal och undervisa i eld. För att säkerställa säkerheten i människors liv och egendom bör brandskyddspolitiken för "förebyggande först, att kombinera förebyggande och brand" implementeras i designen. Förutom att vidta effektiva brandförebyggande åtgärder i utformningen av det rena rummet, är dessutom nödvändiga brandbekämpningsanläggningar också inrättade. Produktionsegenskaperna för rena rum är:
(1) Det finns många precisionsutrustning och instrument, och en mängd brandfarliga, explosiva, frätande och giftiga gaser och vätskor används. Brandrisken för vissa produktionsdelar tillhör kategori C (såsom oxidationsdiffusion, fotolitografi, jonimplantation, tryckning och förpackning, etc.), och vissa tillhör kategori A (såsom enkelkristalldragning, epitaxi, kemisk ångavsättning, etc. .).
(2) Det rena rummet är mycket lufttätt. När en brand bryts ut kommer det att vara svårt att evakuera personal och släcka elden.
(3) Byggkostnaden för rent rum är hög och utrustningen och instrumenten är dyra. När en brand bryts ut kommer de ekonomiska förlusterna att vara enorma.
Baserat på ovanstående egenskaper har rena rum mycket höga krav för brandskydd. Förutom brandskydds- och vattenförsörjningssystemet bör fasta brandsläckningsenheter också installeras, särskilt värdefull utrustning och instrument i rent rum måste fastställas noggrant.
Posttid: april-12-2024