Förutom strikt partikelkontroll har elektroniska renrum, som representeras av chipproduktionsverkstäder, dammfria verkstäder för integrerade kretsar och skivtillverkningsverkstäder, även strängare krav på temperatur- och fuktighetskontroll, belysning och mikrochock. Strikt eliminering av statisk elektricitets inverkan på produktionsprodukter, så att miljön kan uppfylla produktionsprocesskraven för elektroniska produkter i en ren miljö.
Temperaturen och luftfuktigheten i det elektroniska renrummet bör bestämmas enligt produktionsprocessens krav. När det inte finns några specifika krav för produktionsprocessen kan temperaturen vara 20–26 °C och den relativa luftfuktigheten är 30–70 %. Temperaturen i personalens renrum och vardagsrum kan vara 16–28 ℃. Enligt den kinesiska nationella standarden GB-50073, som överensstämmer med internationella ISO-standarder, är renhetsnivån för denna typ av renrum 1–9. Bland dessa är klass 1–5, luftflödesmönstret är enkelriktat flöde eller blandat flöde; klass 6 luftflödesmönstret är icke-enriktat flöde och luftväxlingen är 50–60 gånger/timme; klass 7 luftflödestyp är icke-enriktat flöde och luftväxlingen är 15–25 gånger/timme; klass 8–9 luftflödestyp är icke-enriktat flöde, luftväxlingen är 10–15 gånger/timme.
Enligt gällande specifikationer bör ljudnivån i elektroniska renrum av klass 10 000 inte vara högre än 65 dB(A).
1. Den totala andelen vertikala flöden i renrummet för elektroniska renrum bör inte vara mindre än 60 %, och den horisontella enriktade flödesförhållandet i renrummet bör inte vara mindre än 40 %, annars blir det ett partiellt enriktat flöde.
2. Den statiska tryckskillnaden mellan elektroniska renrum och utomhusmiljö bör inte vara mindre än 10 Pa, och den statiska tryckskillnaden mellan rena områden och icke-rena områden med olika luftrenhet bör inte vara mindre än 5 Pa.
3. Mängden friskluft i ett elektroniskt renrum av klass 10000 bör beräknas utifrån följande två faktorer.
4. Kompensera summan av den inomhusluftsvolym och den friskluftsvolym som krävs för att bibehålla det inomhus positiva trycket.
5. Se till att mängden friskluft som tillförs renrummet per person och timme inte är mindre än 40 kvadratmeter.
Publiceringstid: 8 april 2024