Förutom strikt kontroll av partiklar har elektroniskt rena rum representerat av chipproduktionsverkstäder, integrerade kretsfria verkstäder och skivtillverkningsverkstäder också strängare krav för temperatur- och fuktighetskontroll, belysning och mikro-shock. Ta strikt bort effekterna av statisk el på produktionsprodukter, så att miljön kan uppfylla produktionsprocesskraven för elektroniska produkter i en ren miljö.
Temperaturen och fuktigheten i det elektroniska rena rummet bör bestämmas enligt produktionsprocesskraven. När det inte finns några specifika krav för produktionsprocessen kan temperaturen vara 20-26 ° C och den relativa fuktigheten är 30%-70%. Temperaturen på personalens rena rum och vardagsrum kan vara 16-28 ℃. Enligt den kinesiska nationella standarden GB-50073, som är i linje med internationella ISO-standarder, är renhetsnivån för denna typ av rena rum 1-9. Bland dem, klass 1-5, är luftflödesmönstret enkelriktat flöde eller blandat flöde; Luftflödesmönster i klass 6 är icke-omriktat flöde och luftförändring är 50-60 gånger/h; Luftflödet av klass 7 är icke-omriktat flöde och luftförändring är 15-25 gånger/h; Klass 8-9 Luftflödetyp är icke-omriktat flöde, luftförändringen är 10-15 gånger/h.
Enligt nuvarande specifikationer bör ljudnivån inom klass 10.000 elektroniskt rena rum inte vara större än 65dB (A).
1. Det fulla förhållandet mellan det vertikala flödesrengöraren i elektroniskt rena rum bör inte vara mindre än 60%, och det horisontella enkelriktade flödesrummet bör inte vara mindre än 40%, annars kommer det att vara ett partiellt enkelriktat flöde.
2. Den statiska tryckskillnaden mellan elektroniskt rent rum och utomhus bör inte vara mindre än 10PA, och den statiska tryckskillnaden mellan rena områden och icke-rena områden med olika luftrenlighet bör inte vara mindre än 5PA.
3. Mängden frisk luft i ett klass 10000 elektroniskt rent rum bör ta värdet på följande två artiklar.
4. Kompensera summan av inomhusluftvolymen och den friska luftvolymen som krävs för att upprätthålla inomhusens positiva tryckvärde.
5. Se till att mängden frisk luft som levereras till rent rum per person per timme är inte mindre än 40 kvadratmeter.
Post Time: APR-08-2024