Installation av processutrustning i renrum bör baseras på renrummets design och funktion. Följande detaljer kommer att presenteras.
1. Utrustningsinstallationsmetod: Den ideala metoden är att stänga renrummet under utrustningens installationsperioden och ha en dörr som kan möta utrustningens betraktningsvinkel eller reservera en passage för att tillåta ny utrustning att passera igenom och komma in i renrummet. För att förhindra att renrummet nära installationsperioden kontamineras, bör skyddsåtgärder vidtas för att säkerställa att renrummet fortfarande uppfyller sina renhetskrav och det efterföljande arbetet som krävs.
2. Om arbetet i renrummet inte kan avbrytas under varje installationsperiod, eller om det finns strukturer som behöver demonteras, måste ett renrum som är igång vara effektivt isolerat från arbetsområdet: tillfälliga isoleringsväggar eller skiljeväggar kan användas. För att inte hindra installationsarbetet bör det finnas tillräckligt med utrymme runt utrustningen. Om förhållandena tillåter kan åtkomst till isoleringsområdet ske via servicekanaler eller andra icke-kritiska områden: om detta inte är möjligt bör åtgärder vidtas för att minimera föroreningspåverkan från installationsarbetet. Isoleringsområdet bör bibehålla lika tryck eller negativt tryck. Tillförseln av renluft bör stängas av i höghusområdet för att undvika positivt tryck på omgivande renrum. Om åtkomst till isoleringsområdet endast sker via ett intilliggande renrum bör självhäftande kompresser användas för att avlägsna smuts som finns på skorna.
3. Efter att ha gått in i höghöjdsområdet kan engångsstövlar eller överdragsskor och arbetskläder i ett stycke användas för att undvika att kontaminera renrummet. Dessa engångsartiklar bör tas av innan karantänområdet lämnas. Metoder för att övervaka området runt isoleringsområdet under installationsprocessen av utrustningen bör utvecklas och övervakningsfrekvensen bör bestämmas för att säkerställa att eventuell kontaminering som kan läcka in i det intilliggande renrummet upptäcks. Efter att isoleringsåtgärderna har upprättats kan olika nödvändiga offentliga serviceanläggningar upprättas, såsom el-, vatten-, gas-, dammsug-, trycklufts- och avloppsledningar. Man bör uppmärksamma att kontrollera och isolera rök och skräp som genereras av verksamheten så mycket som möjligt för att undvika oavsiktlig spridning till omgivande renrum. Det bör också underlätta effektiv rengöring innan isoleringsbarriären tas bort. Efter att de offentliga serviceanläggningarna uppfyller användningskraven bör hela isoleringsområdet rengöras och dekontamineras enligt de föreskrivna rengöringsrutinerna. Alla ytor, inklusive alla väggar, utrustning (fast och rörlig) och golv, bör dammsugs, torkas och moppas, med särskild uppmärksamhet på rengöring av områden bakom utrustningsskydd och under utrustning.
4. Ett preliminärt test av utrustningens prestanda kan utföras baserat på de faktiska förhållandena i renrummet och den installerade utrustningen, men efterföljande acceptanstestning bör utföras när villkoren för ren miljö är helt uppfyllda. Beroende på förhållandena på installationsplatsen kan man börja försiktigt demontera isoleringsväggen; om renluftstillförseln har stängts av, starta om den; tiden för denna arbetsfas bör väljas noggrant för att minimera störningar i renrummets normala arbete. Vid denna tidpunkt kan det vara nödvändigt att mäta om koncentrationen av luftburna partiklar uppfyller de angivna kraven.
5. Rengöring och förberedelse av utrustningens insida och viktiga processkamrar bör utföras under normala renrumsförhållanden. Alla invändiga kammare och alla ytor som kommer i kontakt med produkten eller är involverade i produkttransport måste torkas av till erforderlig renhetsnivå. Rengöringssekvensen för utrustningen bör ske uppifrån och ner. Om partiklar sprids kommer större partiklar att falla till botten av utrustningen eller marken på grund av gravitationen. Rengör utrustningens utsida uppifrån och ner. Vid behov bör ytpartikeldetektering utföras i områden där produkt- eller produktionsprocessens krav är kritiska.
6. Med tanke på renrummens egenskaper, särskilt den stora ytan, de höga investeringarna, den höga produktionen och de mycket strikta renhetskraven för högteknologiska renrum, är installationen av produktionsutrustning i denna typ av renrum mer lik den i vanliga renrum. Det finns inga specifika krav. För detta ändamål har den nationella standarden "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance" som släppts vissa bestämmelser för installation av produktionsutrustning i renrum, huvudsakligen inklusive följande.
A. För att förhindra kontaminering eller till och med skador på renrum (område) som har genomgått "tom" godkännande under installationsprocessen av produktionsutrustning, får installationsprocessen av utrustningen inte orsaka överdrivna vibrationer eller lutningar, och får inte delas och kontaminera utrustningens ytor.
B. För att installationen av produktionsutrustning i renrum (område) ska ske ordnad och utan eller med mindre stillastående, och för att följa det rena produktionsledningssystemet i renrum, se till att installationsprocessen för produktionsutrustningen är skyddad i enlighet med de olika "färdiga produkter" och "halvfabrikat" som accepteras i "tomt tillstånd", får material, maskiner etc. som måste användas i installationsprocessen inte avge eller kan producera (även vid normal drift av renrummet under lång tid) föroreningar som är skadliga för de producerade produkterna. Renrumsmaterial som är dammfria, rostfria, fettfria och inte producerar damm under användning bör användas.
C. Byggnadens dekorationsyta i renrummet (området) bör skyddas med renrumspaneler, filmer och andra material; utrustningens stödplatta bör tillverkas enligt konstruktions- eller utrustningens tekniska dokumentationskrav. Om inga krav finns bör rostfria stålplattor eller plastplattor användas. Kolstålsprofiler som används för oberoende fundament och golvförstärkningar bör behandlas med korrosionsskydd, och ytan ska vara plan och slät; elastiska tätningsmaterial bör användas för fogmassa.
D. Material ska märkas med ingredienser, sorter, tillverkningsdatum, lagringsgiltighetstid, instruktioner för konstruktionsmetod och produktcertifikat. Maskiner och verktyg som används i renrum får inte flyttas till icke-renrum för användning. Maskiner och verktyg får inte flyttas till renrum för användning. Maskiner och verktyg som används i rena områden ska säkerställa att maskinens exponerade delar inte producerar damm eller vidta åtgärder för att förhindra att damm förorenar miljön. Vanligt förekommande maskiner och verktyg ska rengöras i ett luftlås innan de flyttas till ett rent område och ska uppfylla kraven på att vara oljefria, smutsfria, dammfria och rostfria, och ska flyttas efter att ha godkänts i inspektionen och en skylt med "Rent" eller "Endast rent område" har satts upp.
E. Produktionsutrustningen i renrum (område) måste installeras på "specifika golv", såsom upphöjda golv. Utrustningsfundamentet bör generellt placeras på det nedre tekniska mezzaningolvet eller på den porösa cementplattan; de aktiviteter som behöver demonteras för att installera fundamentet. Golvets struktur bör förstärkas efter att ha sågits med en handhållen elektrisk såg, och dess bärförmåga bör inte vara lägre än den ursprungliga bärförmågan. När ett oberoende fundament av en stålramkonstruktion används bör det vara tillverkat av galvaniserat material eller rostfritt stål, och den exponerade ytan ska vara plan och slät.
F. När installationsprocessen för produktionsutrustning i renrum (område) kräver att hål borras i väggpaneler, undertak och golv, får borrningen inte dela eller förorena ytorna på väggpaneler och undertakspaneler som behöver bibehållas. Efter att det upphöjda golvet har öppnats, när grunden inte kan installeras i tid, bör säkerhetsräcken och varningsskyltar installeras. Efter att produktionsutrustningen har installerats bör springan runt hålet tätas, utrustningen och tätningskomponenterna ska vara i flexibel kontakt, och anslutningen mellan tätningskomponenten och väggpanelen ska vara tät och fast. Tätningsytan på ena sidan av arbetsrummet ska vara plan och slät.
Publiceringstid: 16 januari 2024