Ett relativt komplett automatiskt styrsystem/styranordning bör installeras i renrummet, vilket är mycket fördelaktigt för att säkerställa normal produktion i renrummet och förbättra drift- och ledningsnivån, men bygginvesteringarna behöver öka.
Olika typer av renrum har olika krav och tekniska parametrar, inklusive övervakning av luftrenhet, temperatur och fuktighet i renrum, övervakning av tryckskillnader i renrum, övervakning av högren gas och rent vatten, övervakning av gasrenhet och renvattenkvalitet, och skalan och ytan av renrum varierar också kraftigt i olika branscher. Funktionerna hos det automatiska styrsystemet/styrenheten bör bestämmas utifrån de specifika förhållandena för renrumsprojektet och bör utformas i olika typer av övervaknings- och styrsystem. Endast renrum är utformade med distribuerade datorstyr- och övervakningssystem.
Det automatiska styr- och övervakningssystemet i moderna högteknologiska renrum, representerat av mikroelektroniska renrum, är ett omfattande system som integrerar elektrisk teknik, automatiserad instrumentering, datorteknik och nätverkskommunikationsteknik. Endast genom att korrekt och rimligt använda varje teknik kan systemet uppfylla de erforderliga kontroll- och övervakningskraven.
För att säkerställa de strikta kraven för kontroll av produktionsmiljön i elektroniska renrum bör styrsystemen för offentliga kraftsystem, renings- och luftkonditioneringssystem etc. först och främst ha hög tillförlitlighet.
För det andra krävs det att olika styrutrustningar och instrument är öppna för att uppfylla kraven för nätverksstyrning av hela renrummet. Produktionstekniken för elektroniska produkter utvecklas snabbt. Utformningen av det automatiska styrsystemet för elektroniska renrum bör vara flexibelt och skalbart för att möta förändringarna i kontrollkraven för renrummet. Den distribuerade nätverksstrukturen har ett bra gränssnitt mellan människa och dator, vilket bättre kan realisera detektering, övervakning och kontroll av produktionsmiljön och olika offentliga kraftutrustningar, och kan tillämpas på renrumsstyrning med hjälp av datorteknik. När parameterindexkraven för renrummet inte är särskilt strikta kan konventionella instrument också användas för styrning. Oavsett vilken metod som används bör dock styrnoggrannheten uppfylla produktionskraven, uppnå stabil och tillförlitlig drift samt uppnå energibesparingar och utsläppsminskningar.
Publiceringstid: 23 februari 2024